Îïèñàíèå:
Ïðèâîäèòñÿ êëàññèôèêàöèÿ ýëåìåíòîâ ìíîãîóðîâíåâîé ñèñòåìû ìåòàëëèçàöèè èíòåãðàëüíûõ ñõåì, ðàññìàòðèâàþòñÿ îñîáåííîñòè ñîçäàíèÿ âûïðÿìëÿþùèõ è îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ â ñîñòàâå ÈÑ. Îñâåùàþòñÿ âîïðîñû âçàèìîäåéñòâèÿ òîíêèõ ñëîåâ ìåòàëëîâ ñ êðåìíèåâîé ïîäëîæêîé è îáðàçîâàíèÿ ñèëèöèäîâ. Ðàññìàòðèâàþòñÿ ðàçëè÷íûå âàðèàíòû ôîðìèðîâàíèÿ ìåäíûõ ìåæñîåäèíåíèé è ïðèâîäÿòñÿ ñâåäåíèÿ î ñîâðåìåííûõ òåõíîëîãèÿõ ñîçäàíèÿ ìíîãîóðîâíåâûõ ñèñòåì ìåòàëëèçàöèè ÓÁÈÑ ñ ìåäíûìè ìåæñîåäèíåíèÿìè.
Äëÿ ñòóäåíòîâ è àñïèðàíòîâ, ñïåöèàëèçèðóþùèõñÿ â îáëàñòè ìèêðîýëåêòðîíèêè è ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ. Ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíî ñïåöèàëèñòàìè, ðàáîòàþùèìè â äàííîé îáëàñòè.