Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Создать рейтинг

"Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие" (В. И. Шевяков и др.)


Книга "Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие"

Описание:

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Узнайте цены на "Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие", в магазинах:
Бумажная версия книги:
Электронная версия книги:

Оставьте отзыв о книге:


Ваше имя:
Отзыв:
Код: