Ìåòàëëèçàöèÿ óëüòðàáîëüøèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Ó÷åáíîå ïîñîáèå

Ñîçäàòü ðåéòèíã

"Ìåòàëëèçàöèÿ óëüòðàáîëüøèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Ó÷åáíîå ïîñîáèå" (Â. È. Øåâÿêîâ è äð.)


Êíèãà "Ìåòàëëèçàöèÿ óëüòðàáîëüøèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Ó÷åáíîå ïîñîáèå"

Îïèñàíèå:

Ïðèâîäèòñÿ êëàññèôèêàöèÿ ýëåìåíòîâ ìíîãîóðîâíåâîé ñèñòåìû ìåòàëëèçàöèè èíòåãðàëüíûõ ñõåì, ðàññìàòðèâàþòñÿ îñîáåííîñòè ñîçäàíèÿ âûïðÿìëÿþùèõ è îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ â ñîñòàâå ÈÑ. Îñâåùàþòñÿ âîïðîñû âçàèìîäåéñòâèÿ òîíêèõ ñëîåâ ìåòàëëîâ ñ êðåìíèåâîé ïîäëîæêîé è îáðàçîâàíèÿ ñèëèöèäîâ. Ðàññìàòðèâàþòñÿ ðàçëè÷íûå âàðèàíòû ôîðìèðîâàíèÿ ìåäíûõ ìåæñîåäèíåíèé è ïðèâîäÿòñÿ ñâåäåíèÿ î ñîâðåìåííûõ òåõíîëîãèÿõ ñîçäàíèÿ ìíîãîóðîâíåâûõ ñèñòåì ìåòàëëèçàöèè ÓÁÈÑ ñ ìåäíûìè ìåæñîåäèíåíèÿìè.

Äëÿ ñòóäåíòîâ è àñïèðàíòîâ, ñïåöèàëèçèðóþùèõñÿ â îáëàñòè ìèêðîýëåêòðîíèêè è ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ. Ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíî ñïåöèàëèñòàìè, ðàáîòàþùèìè â äàííîé îáëàñòè.

Óçíàéòå öåíû íà "Ìåòàëëèçàöèÿ óëüòðàáîëüøèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Ó÷åáíîå ïîñîáèå", â ìàãàçèíàõ:
Áóìàæíàÿ âåðñèÿ êíèãè:
Ýëåêòðîííàÿ âåðñèÿ êíèãè:





Îñòàâüòå îòçûâ î êíèãå:


Âàøå èìÿ:
Îòçûâ:
Êîä: